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微量元素分析仪的主要性能指标涵盖多个方面。重复性稳定性是仪器基本要求,是分析检验的基础,
若同一样品检测结果差异大,说明仪器存在问题,一般优质仪器的变异系数内控在5%以下。
系统分辨精度方面,电流零点对应的电位绝对值应不大于2mV,
起点电位与初始电位设定值相对偏差的绝对值应不大于2,终点电位与终止电位设定值相对偏差的绝对值应不大于2。
此外,ICP元素分析仪的波长范围为190~500nm(3600L/mm光栅)或190~800nm(2400L/mm光栅),
分辨率0.006nm(3600L/mm光栅)或0.01nm(2400L/mm光栅),波长示值误差≤0.02nm,重复性≤0.003nm,扫描步距0.0004nm,
重复性RSD≤1.0,稳定性RSD≤1.5,检出限达ppb级,可分析70余种金属与非金属元素,线性范围7个数量级以上且自吸效应极低,分析速度每分钟扫描很快达25个元素以上。